[이코노믹리뷰=김동규 기자] SK(주)의 자회사인 SK머티리얼즈 영주공장에서 13일 오전 6시 30분경 가스 누출 사고가 발생했다.

▲ SK머티리얼즈의 육불화텅스텐(WF6)가스통. 출처=SK머티리얼즈

 

SK머티리얼즈는 LCD와 반도체에 사용하는 특수가스를 제조하는 회사다. 소방당국에 따르면 이날 유출된 유독가스는 육불화텅스텐(WF6)이고, 누출 양은 약 1.8t으로 알려졌다. 인근 주민은 대피중이고 현재까지 인명피해는 발생하지 않은 것으로 알려졌다.

SK머티리얼즈 관계자는 “폭발이나 화재는 아니고 가스가 누출돼 공기 중에서 연기가 나다 보니 화재처럼 보였을 뿐”이라면서 “현재 SK머티리얼즈 소속 직원들이 직접 공장 근처에서 포터블 측정기를 갖고 다니면서 2차 피해 가능성을 파악 중”이라고 밝혔다.

SK머티리얼즈는 인근지역 주민들에게 사이렌 경보를 알렸고, 외출 자제요청도 하고 있는 것으로 파악됐다.

▲ SK머티리얼즈 영주 공장 지도. 출처=SK머티리얼즈

 

육불화텅스텐은 물과 만나게 되면 불산으로 변하게 되고 이는 호흡기에 치명적인 손상을 줄 수 있다.

육불화텅스텐은 반도체 공정 중 금속 배선 공정에 사용되고 화학반응 후 불소를 날리고 텅스텐을 웨이퍼 위로 증착시키는 데 사용된다. 3D낸드 플래시 메모리 생산이 늘어나면서 수요도 함께 늘어났다. 한편 이 공장은 OCI머티리얼즈 시절인 2012년과 2013년에도 폭발과 화재 사고가 발생했다.